微型稱重傳感器

    針對微傳感器技術(shù)發(fā)展速度快，一些理論、方法及實(shí)現(xiàn)技術(shù)尚未成熟的特點(diǎn)，本書緊密結(jié)合微傳感器的發(fā)展動態(tài)，對熱、輻射、機(jī)械、磁、化學(xué)量微傳感器的基本理論及實(shí)現(xiàn)技術(shù)進(jìn)行分類闡述，同時(shí)介紹了微傳感器系統(tǒng)及其數(shù)據(jù)獲取與處理方面的知識，旨在為讀者提供一本微傳感器方面的入門讀物。本書幫助讀者在掌握微傳感器基礎(chǔ)知識的基礎(chǔ)上，建立微傳感器設(shè)計(jì)、研究、制作及實(shí)驗(yàn)分析等方面的基本概念。當(dāng)遇到具體的微傳感器問題時(shí)，能查到專業(yè)文獻(xiàn)，能讀懂文獻(xiàn)內(nèi)容，能自行設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)，能為實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析總結(jié)。

主要技術(shù)參數(shù)：

輸出靈敏度： 約1mV/V

非線性： ±0.5%R.O.

零點(diǎn)偏差 ：±0.5%R.O.

滯后性 ：±0.5%R.O.

受壓變形量 ：0.01mm

固有頻率 ：27,42kHz

使用溫度范圍 ：-10℃～60℃

溫度對滿量程輸出影響 ：±1.0%R.L./10℃

溫度對零點(diǎn)輸出影響 ：±2.0%R.O./10℃

輸入阻抗： 350±10Ω

輸出阻抗 ：350±10Ω

推薦激勵(lì)電壓 ：DC 5V

載荷 ：150%R.L.

應(yīng)用：

   微型傳感器是目前zui為成功并實(shí)用性的微型機(jī)電器件，主要包括利用微型膜片的機(jī)械形變產(chǎn)生電信號輸出的微型壓力傳感器和微型加速度傳感器；此外，還有微型溫度傳感器、磁場傳感器、氣體傳感器等，這些微型傳感器的面積大多在1mm2以下。

   隨著微電子加工技術(shù)，特別是納米加工技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，傳感器技術(shù)還將從微型傳感器進(jìn)化到納米傳感器。這些微型傳感器體積小，可實(shí)現(xiàn)許多全功能，便于大批量和生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點(diǎn)使得它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。

   汽車用傳感器是用于汽車顯示和電控系統(tǒng)的各種傳感器的統(tǒng)稱。它涉及到很多物理量傳感器和化學(xué)量傳感器。這些傳感器要么是史司機(jī)了解汽車各部分狀態(tài)的，要么是用于控制汽車各部分狀態(tài)的。

   汽車用溫度傳感器主要用于檢測發(fā)動機(jī)溫度、吸入氣體溫度、冷卻水溫度、燃油溫度以及催化溫度等。溫度傳感器有熱敏電阻式、線繞電阻式和熱偶電阻式三種主要類型。這三種類型傳感器各有特點(diǎn)，其應(yīng)用場所略有區(qū)別。熱敏電阻式溫度傳感器靈敏度高、響應(yīng)特性較好、但線性差，適應(yīng)溫度較低。

  其中，通用型的測溫范圍-50℃～30℃，精度為1.5%，響應(yīng)時(shí)間為10 ms；高溫型600℃～1000℃，精度為5%，響應(yīng)時(shí)間為10ms，線繞電阻式溫度傳感器的精度高，但響應(yīng)特性差，熱偶電阻式溫度傳感器的溫度高，測量溫度范圍寬，但需要配合放大器和冷端處理一起使用。其他已實(shí)用化的產(chǎn)品有鐵氧體式溫度傳感器（測溫范圍為-40℃～120℃，精度為2.0%）、金屬或半導(dǎo)體膜空氣溫度傳感器（測溫范圍為-40℃～150℃，精度為2.0%，5%，響應(yīng)時(shí)間約20 ms）等。