四探針測(cè)試儀使用說(shuō)明

一、 測(cè)試步驟

1、連接好測(cè)試探頭電纜與主機(jī)，接上電源。

2、儀器顯示開(kāi)機(jī)界面“-J-H-”，等待幾秒鐘進(jìn)入測(cè)試界面。

3、調(diào)節(jié)厚度，按‘+’、‘-’調(diào)節(jié)，如圖所示，數(shù)值為3.98mm。

4、用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準(zhǔn)，待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可。單位為 Ω·cm。

5、停止測(cè)量或者超量程時(shí)顯示“-----”。

二、參數(shù)指標(biāo)

測(cè)量范圍

電  阻：1×10^-4~2×10⁵Ω，     分辨率：1×10^-5~1×10²Ω

電阻率：1×10^-4~2×10⁵Ω-cm，  分辨率：1×10^-5~2×10²Ω-cm

方  阻：5×10^-4~2×10⁵Ω/□，  分辨率：5×10^-5~1×10²Ω/□

數(shù)字電壓表

1. 量程：20.00mV~2000mV
2. 誤差：±0.1%讀數(shù)±2字

數(shù)控恒流源

1. 量程：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA,1A
2. 誤差：±0.1%讀數(shù)±2字

四探針探頭

1. 碳化鎢探針：Ф0.5mm，直流探針間距1.0mm，探針壓力：0~2kg可調(diào)
2. 薄膜方阻探針：Ф0.7mm，直流或方形探針間距2.0mm，探針壓力：0~0.6kg可調(diào)

三、測(cè)試四探針筆

     一般情況下，換鋼針之類，不需要拆開(kāi)探頭，只需要用拔出要換的鋼針，再重新安裝新針，如果斷針在孔內(nèi)并且不拆開(kāi)難以取出，必須按照以下步驟進(jìn)行操作：

1、先松開(kāi)筆身尾部端側(cè)面的固定小螺絲，輕輕脫下尾部航空插口，保證探針頭部旋轉(zhuǎn)時(shí)同步旋轉(zhuǎn)，防止扭線斷線，短接

2、輕輕擰開(kāi)探針頭子，然后小心將銅片拉出，記住七片絕緣片與銅片之間的位置，（四片銅片每片間夾一片絕緣片，兩邊的銅片外側(cè)各兩片），將斷針從銅片卡口座里取下即可。 

3、特別注意一定不能將銅片取下時(shí)的位置錯(cuò)亂，銅片位置按照順序一字排列，并且銅片之間按照寬窄順序互相交叉排列，以免短接。

4、安裝時(shí)銅片及絕緣片按照拆下時(shí)的排列輕輕塞進(jìn)探針頭子，并先將探針頭子擰緊，再將尾部航空頭插上，并且旋緊小螺絲，

5、將針裝好，注意針頭針尾方向，尖頭為探針頭部

四、注意事項(xiàng)

1、儀器操作前請(qǐng)您仔細(xì)閱讀使用說(shuō)明書，規(guī)范操作

2、輕拿輕放，避免儀器震動(dòng)，水平放置，垂直測(cè)量

3、儀器不使用時(shí)請(qǐng)切斷電源，連接線無(wú)需經(jīng)常拔下，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象

4、探針筆測(cè)試結(jié)束，套好護(hù)套，避免人為斷針。